产品描述
Setra西特227压力传感器
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Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气体棒和面板设计,能够满足如今 300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅 11/8″,能节省宝贵的空间 ;结构坚固,是
要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量应用于·高纯度气体输送系统半导体过程工具的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同, Setra
227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用 VIM/VAR
316L 不锈钢制造,且表面钝化抛
光至 5 Ra(大 7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输出类型,精度达 ±0.25%
FS 或 1.0% 读数。该型号可选符合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接口,另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针
D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合使用时, 227 型可实现理想的压力测量和显示。零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还
可选择绝压、表压或复合压测量范围。
高性价比227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术,配有316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时,隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化,并基于砖利的电荷平衡原理,通过 Setra *特的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra 所有的**高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传感技术制造,能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。
Development, design, production and sales in one of the manufacturing enterprises
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